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怎么清洗半导体行业的单晶硅片?

[发布时间:2017-8-22]

概述:

随着半导体材料技术的发展,对硅片的规格和质量也提出更高的要求,适合微细加工的大直径硅片在市场的需求比例将日益加大。半导体,芯片,集成电路,设计,版图,芯片,制造,工艺目前世界普遍采用先进的切、磨、抛和洁净封装工艺,使制片技术取得明显进展。最新尖端技术的导入,使SOI等高功能晶片的试制开发也进入批量生产阶段。对此,硅片生产厂家也增加了对300mm硅片的设备投资,针对设计规则的进一步微细化。利用超声波清洗技术,在清洗过程中超声波频率在合理的范围内往复扫动,带动清洗液形成细微回流,使工件污垢在被超声剥离的同时迅速带离工件表面,提高清洗效率。

 

清洗方法及其放置方向
将被洗研磨硅片水平状放置在清洗槽底部上方栅栏状的石英棒框架上,在确保清洗槽内具有去离子水高度并不断流动的条件下,利用设在清洗槽底部的超声波振子进行清洗,超声波频率为40KHz,每5分钟将研磨硅片翻一个面,连续超洗至被超洗的研磨硅片表面没有黑色污染物冒出止。超声波清洗单晶硅片装置清洗槽的槽壁上设有进水口和出水口,槽底部下方设有超声波振子,清洗槽槽内设有一搁置单晶硅片的框架,框架底壁为栅栏状的石英棒形成的平面低于去离子水水平面,整个框架由支撑脚支撑在清洗槽内。具体实施时,石英棒距离清洗槽的底壁为15厘米。清洗时,单晶硅片可以平置在石英棒上,将现有的竖超洗改成平超洗,消除了单晶硅片在竖超洗状态下,污染物会残留堆积在硅片表面,形成局部区域清洗不干净,以及承载硅片的软体花篮会吸附和阻挡掉超声波源的传递,从而造成硅片表面局部区域清洗不干净的现象,具有结构更简单、用水量大大减少的优点。

 

采用超声波清洗的优点:
1、采用了真空脱气技术有效去除液体中气体,且运用抛动功能,增强超声对工件表面油污和污垢的清洗能力,缩短清洗时间;


2、洗篮设计转动机构重叠不可分拆的零件或形状复杂的零件,也可做到均匀完整的清洗;


3、减压真空系统能吸出盲孔、缝隙及叠加零件之间的空气,使超声波在减压的状态下产生
惊人的清洗效果


4、真空蒸汽清洗+真空干燥系统利用蒸汽洗净做养护,完美实现清洗效果;


5、蒸汽清洗、干燥及清洗液加热的全过程在减压真空中进行,更有效地确保了安全性;

6、防爆配件及简洁加热系统,进一步提高安全度;


7、加热温度自动可调;


8、设有安全保险装置;

9、超声输出频率可根据不同工作情况进行微调.


 

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